預計年我國濺射靶材的市場(chǎng)規模有望持續擴大，復合增速將維持在2016年20%左右增速水平。大部分國家銦消費的70%都用來(lái)生產(chǎn)ITO靶材電子半導體和無(wú)線(xiàn)電領(lǐng)域銦具有沸點(diǎn)高、低電阻和抗腐蝕等特性，在電子半導體和無(wú)線(xiàn)電行業(yè)也有廣泛應用。有相當大部分的金屬銦用于生產(chǎn)半導體材料。在無(wú)線(xiàn)電和電子工業(yè)中，銦用于制造特殊的接觸裝置，即將銦和銀的氧化物經(jīng)混合后壓制而成。為了提高LED芯片的出光效率，人們想了許多辦法。比如，當前市場(chǎng)上出現了許多亮度較高的ITO芯片的LED，GaN基白光LED中如果用ITO替代Ni/Au作為P型電極芯片的亮度要比采用通用電極的芯片高20％－30％。ITO是英文IndiumTinOdes的縮寫(xiě)。

或成膜之后膜材受二次電子轟擊造成微粒飛濺，這些微粒的出現會(huì )降低薄膜品質(zhì)。在較大規模集成電路制作工藝過(guò)程中，每150mm直徑硅片所能允許的微粒數必須小于30個(gè)。怎樣控制濺射靶材的晶粒，并提高其致密度以解決濺射過(guò)程中的微粒飛濺問(wèn)題是濺射靶材的研發(fā)的關(guān)鍵。靶材濺射時(shí)，靶材中的原子容易沿著(zhù)密排面方向優(yōu)先濺射出來(lái)，材料的結晶方向對濺射速率和濺射膜層的厚度均勻性影響較大，終影響下游產(chǎn)品的品質(zhì)和性能。需根據靶材的籌備結構特點(diǎn)，采用不同的成型方法，進(jìn)行反復的塑性變形、熱處理工藝加以控制。銦是中國在儲量上占據優(yōu)勢的資源。ITO靶材，制造的原料In是我國擁有的關(guān)鍵稀土銦，但由于不會(huì )加工，等日采購。顯示面板的上游更是日本企業(yè)壟斷。

ITO究竟是什么？ITO是IndiumTinOdes的縮寫(xiě)，即摻錫氧化銦。是透明導電氧化物TCOs的一種，由于良好的導電性和透明性的組合性能，成為主要的透明導電材料。靶材的主要性能要求純度純度是靶材的主要性能指標之一，因為靶材的純度對薄膜的性能影響很大。不過(guò)在實(shí)際應用中，對靶材的純度要求也不盡相同。例如，隨著(zhù)微電子行業(yè)的迅速發(fā)展，硅片尺寸由6”,8“發(fā)展到12”,而布線(xiàn)寬度由0.5um減小到0.25um,0.18um甚至0.13um，以前99.995%的靶材純度可以滿(mǎn)足0.35umIC的工藝要求，而制備0.18um線(xiàn)條對靶材純度則要求99.999%甚至99.9999%。雜質(zhì)含量靶材固體中的雜質(zhì)和氣孔中的氧氣和水氣是沉積薄膜的主要污染源。粉賣(mài)。

光記錄靶材主要指在光盤(pán)制造中使用到的濺射靶材。結構簡(jiǎn)單的光盤(pán)主要由基板、記錄層、反射層、保護層和印刷層組成，結構復雜的光盤(pán)層數超過(guò)10層，有記錄層、反射板和保護層。國外濺射靶材生產(chǎn)商數量眾多，但是側重不同，在各個(gè)細分市場(chǎng)各有優(yōu)勢。高純?yōu)R射靶材的市場(chǎng)規模日益擴大，呈現高速增長(cháng)的勢頭。高純金屬靶材的業(yè)績(jì)增長(cháng)主要取決于三個(gè)因素。根據整理的數據顯示，外業(yè)務(wù)收入502億，占半導體行業(yè)總營(yíng)收1130億元的約44.48%。平板顯示用靶材（含觸摸屏）年市場(chǎng)銷(xiāo)售額38.1億美元，占比34%；占比29%；太陽(yáng)能電池用靶材市場(chǎng)銷(xiāo)售額23.4億美元，占比21%；11.9億美元，占比10%。但是國內靶材市占率不足2%，整體需求占比在三成左右。伴隨高等制造業(yè)產(chǎn)業(yè)鏈持續向國內轉移，靶材供應正逐漸從國外切換到國內。

靶材是高速荷能粒子轟擊的目標材料，故靶材也叫濺射靶材（純度：99.9%-99.999%），具有較高的技術(shù)壁壘。銀是目前使用廣泛的導電層薄膜材料之一。和超大規模集成電路芯片的制造對濺射靶材金屬純度的要求相比，太陽(yáng)能電池用鋁靶的金屬純度略低，99.995%（4N5）以上。高純貨品靶材被譽(yù)為半導體芯片材料的強者，半導體產(chǎn)業(yè)對濺射靶材和濺射薄膜的品質(zhì)要求非常高，隨著(zhù)更大尺寸的硅晶圓片制造出來(lái)，相應地要求濺射靶材也朝著(zhù)大尺寸、高純度的方向發(fā)展，同時(shí)也對濺射靶材的晶粒晶向控制提出了更高的要求。高純貨品靶材在電子信息產(chǎn)業(yè)中的應用廣泛，因貨品有良好的化學(xué)穩定性，高電導率、熱導率，以及特有的電學(xué)、磁學(xué)、光學(xué)等性能。

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