微信掃碼進(jìn)行關(guān)注
隨時(shí)隨地手機看最新資訊動(dòng)態(tài)
3800次瀏覽
硅片拋光機是深圳市海德準確研磨機器制造有限公司的要點(diǎn)產(chǎn)品之一,單晶硅片在平面拋光機行業(yè)的應用比較常見(jiàn),一般硅片成品都需要經(jīng)過(guò)平面拋光這一道工序才能應用于市場(chǎng)。但是單晶硅片在拋光過(guò)程中往往會(huì )因為,超薄超脆而遇到一些技術(shù)難點(diǎn),尤其是大尺寸的硅片。深圳海德是有經(jīng)驗研究硅片拋光機的機構,多年來(lái)一直致力于硅片拋光機的生產(chǎn)和研發(fā),我司對大尺寸硅片拋光機的制作工藝有著(zhù)非常獨到的見(jiàn)解和比較成熟的技術(shù)。
平面拋光機拋光(CMP)是目前可實(shí)現單晶硅片全局平面化的技術(shù),采用該方法可使整個(gè)硅片獲得超光滑和無(wú)損傷的表面。其中,拋光液的質(zhì)量是影響CMP 效果的一個(gè)關(guān)鍵因素。目前,硅片CMP普遍使用粒徑為50~70 nm的球形SiO2為磨粒[3]。作為一種效率高拋光粉,納米CeO2已廣泛應用于超大規模集成電路SiO2介質(zhì)層和隔離溝槽的化學(xué)機械拋光,具有高拋光效率和高表面質(zhì)量等優(yōu)點(diǎn)[4]。有研究表明,將球型納米CeO2用于單晶硅片的化學(xué)機械拋光時(shí),其拋光效率比球形SiO2高。不過(guò),納米CeO2拋光硅片的研究還處在初始階段,拋光液制備技術(shù)及相關(guān)拋光機理有待進(jìn)一步完善。我國稀土鈰資源居世界重要地位,如能開(kāi)發(fā)出適于硅片拋光的納米CeO2拋光液,將會(huì )促進(jìn)硅片超準確加工技術(shù)的發(fā)展,社會(huì )經(jīng)濟效益可觀(guān)。
由此可見(jiàn)稀土拋光粉在單晶硅片的拋光過(guò)程中有著(zhù)重要的作用,對單晶硅片的平面拋光機市場(chǎng)也有著(zhù)相當大的影響。單晶硅片的平面拋光機技術(shù)在行業(yè)內的應用前景非常大,發(fā)展還有很大空間。
海德公司硅片拋光機工作原理:
本系列硅片拋光機由四個(gè)吸附盤(pán)吸附硅片與拋光盤(pán)做逆時(shí)針旋轉來(lái)達到拋光的目的。
硅片拋光機特點(diǎn):
1.本系列拋光機的吸附盤(pán)由四臺單獨的電機驅動(dòng)、速度與壓力可調。
2.控制系統中采用PLC彩色終端等先進(jìn)技術(shù),系統的響應速度更快、更準確,并具有遠程監控,遠程維護的功能;
3.本系列拋光機運行平穩,拋光后的產(chǎn)品厚度公差可控制在正負0.002mm范圍內,粗糙度可達到0.0005mm
硅片拋光機是深圳市海德準確研磨機器制造有限公司的要點(diǎn)產(chǎn)品之一,海德?lián)碛谐墒斓纳a(chǎn)工藝,先進(jìn)生產(chǎn)設備,銷(xiāo)售數量大,范圍廣,質(zhì)量好,性能好,是廣大企業(yè),工廠(chǎng),貿易商的優(yōu)選供應商;公司技術(shù)力量雄厚,生產(chǎn)工藝精湛,檢驗手段先進(jìn),售后服務(wù)周到。購買(mǎi)硅片拋光機認準深圳海德,提供終生維護!硅片拋光機產(chǎn)品銷(xiāo)售網(wǎng)絡(luò )遍布全國各地,歡迎來(lái)電咨詢(xún)!
版權說(shuō)明:中玻網(wǎng)原創(chuàng )以及整合的文章,請轉載時(shí)務(wù)必標明文章來(lái)源
免責申明:以上觀(guān)點(diǎn)不代表“中玻網(wǎng)”立場(chǎng),版權歸原作者及原出處所有。內容為作者個(gè)人觀(guān)點(diǎn),并不代表中玻網(wǎng)贊同其觀(guān)點(diǎn)和對其真實(shí)性負責。中玻網(wǎng)只提供參考并不構成投資及應用建議。但因轉載眾多,或無(wú)法確認真正原始作者,故僅標明轉載來(lái)源,如標錯來(lái)源,涉及作品版權問(wèn)題,請與我們聯(lián)系0571-89938883,我們將第一時(shí)間更正或者刪除處理,謝謝!
在洛陽(yáng)蘭迪玻璃機器股份有限公司(以下簡(jiǎn)稱(chēng)蘭迪),有一支被稱(chēng)作“鐵軍師”的隊伍——裝三車(chē)間。這里沒(méi)有硝煙,卻總打硬仗;不聞號角,卻始終向...
在砂輪的磨削加工過(guò)程中,砂輪會(huì )發(fā)生損耗變形,為了保證砂輪的鋒利度或者精度,我們就需要對砂輪進(jìn)行修整。今天我們來(lái)了解一款用于砂輪修整的金...
在玻璃深加工行業(yè)智能化轉型的浪潮中,蘭迪機器憑借領(lǐng)先的節能技術(shù)、智能控制系統及模塊化設計理念,贏(yíng)得全球千余家企業(yè)的信賴(lài)與選擇,成為推動(dòng)...