【中玻網(wǎng)】德國特種玻璃廠(chǎng)商肖特（SCHOTT）將在日本市場(chǎng)推出光敏玻璃“FOTURANII”，該產(chǎn)品可在紫外線(xiàn)照射下結晶化，可用做半導體及生物技術(shù)領(lǐng)域的玻璃基板。
　　
　　在紫外線(xiàn)照射下，玻璃本身會(huì )發(fā)生變質(zhì)，再經(jīng)過(guò)熱處理就會(huì )結晶化（陶瓷化），成為光敏玻璃。無(wú)需使用光刻膠，只用氫氟酸即可僅蝕刻結晶化的部分。肖特新產(chǎn)品的特點(diǎn)是，玻璃部與陶瓷部的蝕刻選擇比高達30：1，容易加工。
　　
　　使用光刻膠蝕刻普通玻璃時(shí)，蝕刻會(huì )向各向同性發(fā)展，因此很難實(shí)現高深寬比加工。而感光性玻璃是選擇性蝕刻結晶化的部分，從原理上來(lái)說(shuō)沒(méi)有深寬比限制，因此能夠實(shí)現20～30μm的微細圖案加工。
　　
　　曝光時(shí)推薦使用波長(cháng)320nm的紫外線(xiàn)，可使用“UV300”曝光裝置。雖然使用紫外線(xiàn)激光器時(shí)掃描耗費時(shí)間，但不需要掩模。而且，利用激光的焦點(diǎn)，還可實(shí)現玻璃基板內部的隧道結構（橫孔）等復雜的立體結構，而使用以往蝕刻技術(shù)時(shí)必須要層疊玻璃才能實(shí)現。實(shí)際上，目前已有客戶(hù)瞄準微流體展開(kāi)制造，因此有望成為無(wú)需掩模即可制造少量生產(chǎn)的MEMS等的手段。
　　
　　新產(chǎn)品在晶圓狀時(shí)能夠以非常大300mm（12英寸）的尺寸供應，在片狀時(shí)能以非常大200mm見(jiàn)方的尺寸供應。
　　
　　除此之外，肖特還在日本展出用于創(chuàng )意家電等的光敏玻璃（玻璃陶瓷），以及已開(kāi)始在智能手機指紋傳感器蓋板中采用的超薄板玻璃等產(chǎn)品。