英格蘭 ASCOT 2008年5月21日電 -- 由 Element Six Ltd 研究人員指導、并與斯特拉斯克萊德大學(xué) (University of Strathclyde) Institute of Photonics（光子學(xué)研究所，簡(jiǎn)稱(chēng) IoP）合作進(jìn)行的 Micromachined Diamond Device Initiative（微機械金剛石設備計劃，簡(jiǎn)稱(chēng) MIDDI）圓滿(mǎn)結束。MIDDI 部分資金由英國貿工部 (UK Department of Trade and Industry) 提供，旨在研發(fā)大部分國家優(yōu)異的金剛石微電子設備制造技術(shù)，讓歐洲公司比日本和美國公司更具競爭優(yōu)勢。
　　
　　MIDDI 主要專(zhuān)注于研發(fā)一個(gè)擁有先進(jìn)微納米制造技術(shù)的“工具箱”，該技術(shù)以合成單晶金剛石為基礎，可用于新一代高頻、高功率電子設備的開(kāi)發(fā)。Element Six 在使用化學(xué)氣相沉積制造電子級合成金剛石領(lǐng)域處于較有優(yōu)勢地位。MIDDI 進(jìn)一步擴大了這種優(yōu)異優(yōu)勢。
　　
　　斯特拉斯克萊德大學(xué) IoP 一直扮演提供等離子體刻蝕技術(shù)專(zhuān)長(cháng)的角色，該技術(shù)被用于界定設備制造所要求的準確表面特征。該研究所成立于1995年，已經(jīng)成為刻蝕材料方面的有經(jīng)驗技術(shù)中心，刻蝕材料素來(lái)難以加工。材料領(lǐng)域的專(zhuān)長(cháng)促成了 IoP 在半導體光電子學(xué)、固態(tài)激光工程和生物光子學(xué)方面的成功。
　　
　　IoP 副所長(cháng) Martin Dawson 教授評論說(shuō)：“MIDDI 項目展示了英國大學(xué)是如何與工業(yè)領(lǐng)域合作并成功進(jìn)行技術(shù)研發(fā)的。Element Six 設計了項目的任務(wù)，為先進(jìn)的金剛石結構提供了受控的摻雜特性；學(xué)校通過(guò)研發(fā)一種雙方共同擁有專(zhuān)利的創(chuàng )新型干刻蝕方法來(lái)完成任務(wù)。這真實(shí)打開(kāi)了生產(chǎn)金剛石電子產(chǎn)品之門(mén)，同時(shí)也拓寬了一系列新技術(shù)（包括金剛石光子學(xué)）的更廣泛應用，憑借 Element Six 的支持，斯特拉斯克萊德大學(xué)如今在該領(lǐng)域擁有非凡的影響力�！�
　　
　　三個(gè)領(lǐng)域的成就
　　
　　該項目已在三個(gè)領(lǐng)域取得顯著(zhù)成就，這將有助于 Element Six 為采用金剛石制造的主動(dòng)電子設備的開(kāi)發(fā)提供支持。首先，擁有原子級低粗糙度表面的基片和外延層生產(chǎn)中所采用的合成和加工技術(shù)得到改善。制造高精度金剛石納米層的能力取決于一系列復雜的加工和合成步驟。對于一個(gè)高頻主動(dòng)電子設備來(lái)說(shuō)，某些個(gè)別納米層要求厚度為幾納米。此外，這些納米層需要有原子級的平滑度和較度準確的雜質(zhì)分布。
　　
　　其次，Element Six 現在能夠存放納米級厚度的摻硼金剛石薄層。依據 delta MESFET 這樣的金剛石提出來(lái)的主動(dòng)交換設備概念使用這些夾在兩個(gè)未摻雜其他物質(zhì)的原金剛石層之間的薄層來(lái)支持晶體管作用。較終 MIDDI 得出了一種可更新的一體刻蝕技術(shù)，適用于晶體管設備制造。