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近些年來(lái),平面顯示器走進(jìn)千家萬(wàn)戶(hù)的家庭之中,人們看電視時(shí)的液晶電視,智能手機的觸摸屏等等,這些設備都運用到了ITO靶材。在沒(méi)有這種材料之前,人們使用的是臺式電腦,臺式電視,使用的是滑蓋手機,翻蓋手機等。隨著(zhù)平板顯示器尺寸大型化的發(fā)展,對ITO靶材尺寸及密度的要求也越來(lái)越高,熱壓設備與技術(shù)已遠遠不能滿(mǎn)足其要求。因此,以燒結工藝生產(chǎn)大尺寸、高密度ITO靶材已成為國內各大靶材生產(chǎn)廠(chǎng)家研發(fā)的要點(diǎn)。
ITO靶主要用于ITO膜透明導電玻璃的制作,后者是制造平面液晶顯示的主要材料,在電子工業(yè)、信息產(chǎn)業(yè)方面有著(zhù)廣闊而重要的應用。ITO靶材被廣泛應用于各大行業(yè)之中,但主要應用于平板顯示器中,它是濺射ITO導電薄膜的主要原料,沒(méi)有它的存在,諸多的材料將無(wú)法實(shí)現正常加工以及設計。
ITO靶材的用途:
LCD經(jīng)過(guò)長(cháng)時(shí)間的發(fā)展后,產(chǎn)品質(zhì)量不斷提升,成本也不斷下降,對ITO靶材的要求也隨之提高,因此,配合LCD的發(fā)展,未來(lái)ITO靶材發(fā)展大致有以下的趨勢:
1.降低電阻率。隨著(zhù)LCD愈來(lái)愈精細化發(fā)展的趨向,以及它的驅動(dòng)程序不同,需要更小電阻率的透明導電膜。
2.高密度化。靶材密度的改善直接帶來(lái)的益處主要表現在減少黑化和降低電阻率方面。靶材若為密度小時(shí),有效濺射表面積會(huì )減少,濺射速度也會(huì )降低,靶材表面黑化趨勢加劇。高密度靶的表面變化少,可以得到低電阻膜。靶材密度與壽命也有關(guān),高密度的靶材壽命較長(cháng),意味著(zhù)可降低靶材成本。
3.尺寸大型化。隨著(zhù)液晶模塊產(chǎn)品輕薄化和低價(jià)化趨勢的不斷發(fā)展,相應的ITO玻璃基板也出現了明顯的大型化的趨勢,因此ITO靶材單片尺寸大型化不可避免。
4.靶材本體整體化。如前所述,靶材將朝大面積發(fā)展,以往技術(shù)能力不足時(shí),必須使用多片靶材拼焊成大面積,但由于接合處會(huì )造成鍍膜質(zhì)量下降,因此目前大多以一體成形為主,以提升鍍膜質(zhì)量與使用率。未來(lái)新世代LCD玻璃基板尺寸的加大,對靶材生產(chǎn)廠(chǎng)家是一項嚴苛的挑戰。
5.使用效率高率化。靶材使用率的提升,一直是設備商、使用者及靶材制造商共同努力的方向。目前靶材利用率可達40%,隨著(zhù)液晶顯示器行業(yè)對材料成本要求的提高,提高ITO靶材的利用率也將是未來(lái)靶材研發(fā)的方向之一。
近年來(lái),國內的靶材廠(chǎng)家發(fā)展速度,以尤特新材料為首的靶材生產(chǎn)商,加大了研發(fā)的投入,并引進(jìn)國內外先進(jìn)的生產(chǎn)和檢驗設備,其制造的靶材已達到國外先進(jìn)進(jìn)口靶材的品質(zhì),5N6N的高純靶材生產(chǎn)技術(shù)也日趨成熟。相信,不久將來(lái),國內的靶材企業(yè)能在全部市場(chǎng)上也占有一席之地。
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