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美國Cambrios公司開(kāi)發(fā)出以貼膜方式形成布線(xiàn)圖案的新技術(shù)

來(lái)源:日經(jīng)BP社 2008/11/17 0:00:00

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  從事以溶液加工形成透明導電膜技術(shù)開(kāi)發(fā)的美國風(fēng)險企業(yè)Cambrios Technologies,開(kāi)發(fā)出了利用較少工序即可形成高精度布線(xiàn)圖案的新技術(shù)。該技術(shù)此次命名為“Patternable Transfer Layer Process”,其原理是將事先制作在底板上的透明導電膜轉移到其他底板上,與此同時(shí)形成圖案。雖然向底板轉移及圖案形成過(guò)程采用了光刻技術(shù),但由于未采用光刻膠,因此無(wú)需蝕刻圖案!傲2009年達到實(shí)用水平”(該公司業(yè)務(wù)發(fā)展部副總裁Hash Pakbaz)。 

  此次開(kāi)發(fā)的圖案形成技術(shù)步驟如下。 

  1.在防黏膜(薄膜狀底板)上涂布Cambrios開(kāi)發(fā)的名為“ClearOhm”墨水的透明導電膜材料,形成透明導電膜。 
  2.在透明導電膜上覆蓋感光性粘接層。 
  3.將通過(guò)步驟1形成后的防黏膜粘貼在準備制成圖案的底板(例如,PET、聚碳酸脂樹(shù)脂及玻璃等)上。這時(shí)使粘接層接觸底板表面,對其進(jìn)行壓按。 
  4.在防黏膜上安裝圖案形成用光掩膜,對其照射紫外線(xiàn)(i線(xiàn)),僅使希望形成圖案的領(lǐng)域曝光。 
  5.揭下防黏膜。這樣底板上就只剩下透明導電膜的圖案,而圖案以外的透明導電膜與防黏膜一起被揭下。 

  Cambrios公司在“FPD International 2008”(10月29~31日,太平洋橫濱會(huì )展中心)上展出了采用基于ClearOhm制成的透明導電膜的卷狀塑料底板(參閱本站報道)。該公司已經(jīng)面向靜電容量式觸摸面板建立了量產(chǎn)體制。上述用于Patternable Transfer Layer Process的、帶透明導電膜的防黏膜有望成為繼卷狀塑料底板之后的新產(chǎn)品。

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