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玻璃是一種透明的類(lèi)固體材料,在人們日常生活中應用廣泛。
玻璃具有其他材料所不具備的獨特性能:
1.它擁有好的光學(xué)性能,能反射、彎曲、透射和吸收光線(xiàn),在整個(gè)可視范圍內甚至更遠,都具有較高的透明度。
2.從化學(xué)性能來(lái)說(shuō),玻璃是一種抗腐蝕的惰性材料,可以作為很多化學(xué)品的容器。
3.從熱力和電力方面來(lái)看,玻璃是一種絕緣體。
4.從物理性能來(lái)看,玻璃表面堅硬,防刮耐磨。
但是,也正是這些性能使得玻璃加工面臨著(zhù)更大挑戰,例如一旦玻璃具備好的抗拉強度,就變得易碎。
因此,處理玻璃的方法和其應用都需要從長(cháng)計議。玻璃制造可以追溯到公元前3500年左右。人工制造玻璃大概首先出現在美索不達米亞和埃及,首先被用來(lái)制作珠寶,隨后被用來(lái)制作壺。之后,加工工藝不斷改進(jìn),從手工加工演變?yōu)楝F今的高科技工業(yè)工藝,出現了眾多玻璃類(lèi)別和應用。盡管玻璃制造歷史悠久,但近幾十年來(lái)由于玻璃的易碎性能,對于玻璃成品進(jìn)行加工的工藝止步不前。
通常一個(gè)小裂紋就會(huì )造成玻璃破碎。一旦微裂紋在玻璃的某個(gè)部位形成,它就會(huì )蔓延至玻璃邊緣,造成破裂。玻璃的這種易碎屬性使其難以加工。另外一方面,不斷發(fā)展的技術(shù)使其可制成結構更小,且形狀各異的玻璃來(lái)應用于不同領(lǐng)域。傳統的方法,如光刻和電子束光刻等來(lái)加工玻璃,但這些技術(shù)過(guò)于昂貴,不易操作,特別是大面積使用,F今,激光技術(shù)提供了加工玻璃的理想方法。直截了當的方法就是在波長(cháng)范圍內利用單光子吸收,玻璃在紅外線(xiàn)或紫外線(xiàn)下不會(huì )高度透明。
但是,直接吸收會(huì )產(chǎn)生一些問(wèn)題,包括不良熱影響以及形成熱影響區,這會(huì )產(chǎn)生微裂紋,嚴重危害玻璃的機械穩定性。此外,在玻璃表面下方進(jìn)行加工,制造三維結構,需要使用高透明度波長(cháng)。雖然納秒脈沖激光器可以用于在玻璃中制造次表層結構(如圖1),玻璃的物理機制會(huì )對微處理的精細程度造成限制,也會(huì )產(chǎn)生微裂紋。
圖1:使用納秒激光器(左圖)和使用近紅外(NIR)飛秒激光器(右圖)對玻璃進(jìn)行激光加工示例。
近年來(lái),一種激動(dòng)人心的替代性工藝已投入工業(yè)應用,即使用超快激光器在近紅外波長(cháng)范圍內產(chǎn)生次皮秒脈沖。在這一方法中,超短脈沖緊密聚焦于玻璃的大部分或表面,每平方厘米的功率密度超過(guò)數太瓦,引發(fā)復雜多樣的工藝,如同時(shí)多光子吸收、雪崩和碰撞電離,造成對玻璃基質(zhì)高度局域化的破壞,同時(shí)幾乎不存在能量沉積(只有幾微焦甚至更少)。由于每次脈沖所用能量=適度,對該部位(甚至是聚焦體積)造成的熱影響可以忽略不計。這一方法通常被稱(chēng)為“冷消融”,可以用來(lái)制造3D結構。和其他微制造技術(shù)相比,皮秒激光微制造透明材料具有獨特優(yōu)勢。
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