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玻璃基板和蒸鍍成膜可制可彎曲柔性基板

來(lái)源:日經(jīng)BP社  2012/7/18 14:25:59

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中玻網(wǎng)】“柔性基板上的成膜要用涂布工藝”,或者“玻璃基板不能使用卷對卷工藝”等定見(jiàn),其實(shí)是不正確的。例如,將脂膜及金屬箔以卷對卷方式卷繞,并以真空蒸鍍成膜的技術(shù)10多年前就有了(圖A-1)。而且一直主要用于柔性印刷布線(xiàn)基板、觸摸面板及透明導電薄膜等的制造。“還曾有過(guò)在一口氣就能吹走的1.2μm厚薄膜上成膜的例子”(洛克技研工業(yè)代表董事巖永淳一)。在海外,德國弗勞恩霍夫研究所(FraunhoferInstitute)也在用與洛克技研工業(yè)相同但尺寸更大的裝置開(kāi)發(fā)農業(yè)生產(chǎn)體系EL照明面板。

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    較近,柔性基板的隊伍中又增加了“玻璃”這位新成員。大日本印刷在2012年6月的顯示器技術(shù)全部會(huì )議“SID2012”上,發(fā)布了在柔性玻璃上以卷對卷方式形成彩色濾光片的技術(shù)。將玻璃的厚度減至50~70μm,便可在一定程度上彎曲。并在其上利用以往的光刻技術(shù)形成圖案。雖然目前彎曲時(shí)的機械強度似還存在課題,但將來(lái)肯定會(huì )成為樹(shù)脂膜的強勁競爭對手。
  
  這類(lèi)技術(shù)很難區別是傳統的半導體技術(shù)還是廣義的印刷電子。但開(kāi)發(fā)新元件的選擇范圍得以大幅擴展這一點(diǎn)是毫無(wú)疑問(wèn)的。

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