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隨著(zhù)國內太陽(yáng)能光伏產(chǎn)業(yè)的發(fā)展,市場(chǎng)對石英坩堝的需求量日益膨大,作為主要用于直拉法生產(chǎn)硅單晶的石英坩堝,由于原料及生產(chǎn)工藝的問(wèn)題,很多國產(chǎn)石英坩堝存在軟化點(diǎn)低、壽命短、易下陷等缺點(diǎn),而且純度不高導致易結晶的現象,近來(lái)有人發(fā)現,只要在石英坩堝壁上涂一層可以促進(jìn)反玻璃化的物質(zhì),既可大幅度的增加石英坩堝的使用壽命及長(cháng)晶良率。這種可以促進(jìn)反玻璃化的物質(zhì),一般用含有鋇離子的化合物。這是因為鋇在矽中的平衡偏析系數非常小,因而不會(huì )影響到晶圓的品質(zhì)。通常的做法是將石英坩堝壁涂上一層含有結晶水的氫氧化鋇,這層氫氧化鋇會(huì )與空氣中的二氧化碳反應形成碳酸鋇。而當這種石英坩堝在單晶爐上被加熱時(shí),碳酸鋇會(huì )分解形成氧化鋇,隨著(zhù)氧化鋇與石英坩堝反應形成矽酸鋇。由于矽酸鋇的存在,使得石英坩堝壁上形成一層致密微小的白矽石結晶。這種微小的白矽石結晶很難被溶液滲入而剝落,即使剝落也很快被溶液溶解掉,,因此可以大幅度的改善石英坩堝的使用壽命及長(cháng)晶良率。另外在石英坩堝外壁形成一層白矽石結晶的好處,是它可以增加石英坩堝的強度,減少高溫軟化現象。
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