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【中玻網(wǎng)】平板鍍膜,其膜層結構是一種多層膜結構,基底上依次鍍上金屬膜、金屬-陶瓷吸收膜和減反射膜。金屬鍍膜非常容易,而鍍金屬陶瓷吸收膜和減反射膜,對設備和工藝都有特定的要求。以平板為例,目前市場(chǎng)上存在兩種產(chǎn)品:藍鈦(TiON)和黑鎳、鉻(CrNiON)。個(gè)人認為藍鈦產(chǎn)品耐候性會(huì )更好點(diǎn),這與材料有關(guān),因為CrO熱穩定性相對比較差。對于這些氮氧化物的鍍膜,往往是通入Ar/O/N三種氣體,其中Ar起到濺射出粒子的作用,而N/O氣體起到與濺射出來(lái)的粒子反應作用,生成需要的氮氧化物吸收層。對于藍鈦鍍膜來(lái)說(shuō),這種靶材比較容易中毒,使得沉積工藝不穩定。這與腔體內部通入氣體和抽出氣體有關(guān),如果氣氛不均勻、不穩定,那無(wú)法保證整個(gè)平板鍍膜均勻性,另外工藝上很多廠(chǎng)家對氣氛輸入的大小和比例,也沒(méi)有進(jìn)行充分的優(yōu)化,使得膜層性能相對較低。一般來(lái)講膜層在確定材料之后,與膜層的厚度和化學(xué)元素比例有關(guān)。耐候性也是產(chǎn)品一個(gè)非常重要的性能,使用時(shí)間越長(cháng)、衰減越小,產(chǎn)品的性?xún)r(jià)比越高。國內很多企業(yè)需要認識到清洗的重要性,成分清潔的表面是成膜牢固的充分但不必要條件。板塊清洗好了之后,在進(jìn)入鍍膜腔體也需要保證不會(huì )被污染。鍍膜之后的處理也很重要,可能很多廠(chǎng)家在鍍膜之后,板塊往往就開(kāi)始進(jìn)行后道工藝處理,實(shí)際上鍍膜之后的熱處理非常有必要,當然對于不同板材和鍍膜材料來(lái)說(shuō),熱處理溫度不盡相同。
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