特點(diǎn)：高精度，快響應，良好的操控性和兼容性，完善的功能和專(zhuān)業(yè)的技術(shù)支持

真空等離子設備特點(diǎn)：高精度，快響應，良好的操控性和兼容性，完善的功能和專(zhuān)業(yè)的技術(shù)支持

• 處理均勻性佳

• 離子能量低、不損傷基板

• 沒(méi)有電極及基板的污染

• 設計之特殊等離子電極

• 高密度等離子源

§ 等離子效率高、清潔效率高

§ 可控制低的離子能量

§ 結合化學(xué)反應性及物理撞擊性

• 處理速度快、清潔效率高、可靠度高

• 操作范圍廣

• 可使用多種制程氣體

• 全自動(dòng)且容易操作

• 設備穩定高，容易維護

• 可依客戶(hù)需求作更改

用途：適用于印制線(xiàn)路板行業(yè)，半導體IC領(lǐng)域，硅膠、塑膠、聚合體領(lǐng)域，汽車(chē)電子行業(yè)，航空工業(yè)等。

1、印制線(xiàn)路板行業(yè)：高頻板表面活化，多層板表面清潔、去鉆污，軟板、軟硬結合板表面清潔、去鉆污，

軟板補強前活化。

2、半導體IC領(lǐng)域：COB、COG、COF、ACF工藝，用于打線(xiàn)、焊接前的清洗

3、硅膠、塑膠、聚合體領(lǐng)域：硅膠、塑膠、聚合體的表面粗化、刻蝕、活化

整機規格：1820mm(W)×1100mm(D)×1860mm（H）

電極規格：12層平板式電極板（8500mm×550mm）

電源系統：10KW等離子體發(fā)生源（40KHz，可選13.56MHz）

控制系統：PC工控系統+PLC自動(dòng)控制

進(jìn)氣系統：2—5路工作氣體可選：Ar2、N2、H2、CF4、O2

適用于印制線(xiàn)路板行業(yè)，半導體IC領(lǐng)域，硅膠、塑膠、聚合體領(lǐng)域，汽車(chē)電子行業(yè)，航空工業(yè)等：1、印制

線(xiàn)路板行業(yè)：高頻板表面活化，多層板表面清潔、去鉆污，軟板、軟硬結合板表面清潔、去鉆污，軟板補強

前活化；2、半導體IC領(lǐng)域：COB、COG、COF、ACF工藝，用于打線(xiàn)、焊接前的清洗；3、硅膠、塑膠、聚合體

領(lǐng)域：硅膠、塑膠、聚合體的表面粗化、刻蝕、活化。

廣東匯成真空科技股份有限公司是一家面向全球的真空應用解決方案提供商，研發(fā)、生產(chǎn)和銷(xiāo)售各類(lèi)光學(xué)鍍膜設備、功能性薄膜涂層設備、裝飾涂層設備、卷繞鍍膜設備、汽車(chē)零部件鍍膜設備、連續式磁控濺射鍍膜生產(chǎn)線(xiàn)、超高真空系統、半導體設備、電子生產(chǎn)設備、光電設備、光伏設備、動(dòng)力電池設備及產(chǎn)品相關(guān)配件的國家高新技術(shù)企業(yè)，專(zhuān)注設備與產(chǎn)品的相關(guān)制造工藝和應用技術(shù)、控制軟件、工藝流程控制軟件及相關(guān)生產(chǎn)自動(dòng)化軟件的研發(fā)、應用，并提供技術(shù)轉讓、技術(shù)咨詢(xún)和技術(shù)服務(wù)。